2021-12-06
精准制程控制方面,前后段面临的挑战各有不同。倘若借用前段制程,挑战在于材料成本控制与效率上,但若用传统后段制程设备,则面临制程精准度的挑战,需要与产业链上下游共同努力。
来源:日经